电子制造行业,尤其是半导体、液晶显示、芯片制造等领域,对生产环境的洁净度要求极高。微小的颗粒污染物都可能导致电子产品出现缺陷,影响产品性能与良品率。因此,超净过滤技术在电子制造过程中起着举足轻重的作用,从生产车间的空气净化,到工艺用水、化学试剂的过滤,都离不开高精度过滤器。
在半导体芯片制造车间,需将空气中的颗粒物浓度控制在每立方米 0.1μm 以上颗粒不超过 100 个的水平,这就需要采用超高效空气过滤器(ULPA),其对 0.12μm 颗粒物的过滤效率高达 99.999% 以上。同时,在芯片制造的光刻、刻蚀等关键工艺环节,对工艺用水的纯度要求近乎苛刻,水中杂质含量需控制在 ppt(10⁻¹²)级别。采用反渗透、离子交换与超滤相结合的超纯水过滤系统,可有效去除水中的各种离子、有机物、微生物等杂质,满足芯片制造工艺需求。
为满足电子制造行业不断提高的超净过滤需求,过滤器企业持续创新。[企业名称 12] 研发的纳米纤维膜过滤器,孔径可精确控制在 1 - 10nm 之间,对纳米级污染物具有出色的拦截能力,已应用于高端芯片制造领域。[企业名称 13] 推出的模块化超净过滤系统,可根据不同电子制造工艺需求进行灵活配置,提高了系统集成度与运行稳定性,降低了客户采购与维护成本。随着 5G、人工智能、物联网等新兴技术的发展,电子制造行业对超净过滤的需求将持续增长,推动过滤器行业技术不断迈向新高度。